半导体气路工程

上海秦浩超洁净BA管,电解抛光管(EP管),材质为TP316L,主要规格包括 Φ6.35×0.89mm, Φ9.53×0.89mm,Φ12.7×1.24mm.参照执行标准ASTM A213/A269,通过精密油拉工艺及超声波纯水清洗,得以保证内壁光洁度Ra<0.375μm,可根据客户要求洁净包装。

BA管主要用于半导体行业及相关微电子行业,如LED,LCD,OLED,太阳能电板等,作为无尘室、气源气柜等传输高纯气体,特种气体气管路输送系统。另外,基于BA管的高洁净性能,可作为母材进行电解抛光处理,可使EP管达到更高等级。

 

英制尺寸

公制尺寸

O.D(in)

W.T(in)

O.D(mm)

W.T(mm)

1/4

0.035

6.35

0.89

0.049

1.24

3/8

0.035

9.53

0.89

0.049

1.24

1/2

0.035

12.7

0.89

0.049

1.24

3/4

0.049

19.05

1.24

0.065

1.65

1

0.049

25.4

1.24

0.065

1.65

0.083

2.11

 

工程案例

PRJECT CASE