半导体气路工程
上海秦浩超洁净BA管,电解抛光管(EP管),材质为TP316L,主要规格包括 Φ6.35×0.89mm, Φ9.53×0.89mm,Φ12.7×1.24mm.参照执行标准ASTM A213/A269,通过精密油拉工艺及超声波纯水清洗,得以保证内壁光洁度Ra<0.375μm,可根据客户要求洁净包装。
BA管主要用于半导体行业及相关微电子行业,如LED,LCD,OLED,太阳能电板等,作为无尘室、气源气柜等传输高纯气体,特种气体气管路输送系统。另外,基于BA管的高洁净性能,可作为母材进行电解抛光处理,可使EP管达到更高等级。
英制尺寸 |
公制尺寸 |
||
O.D(in) |
W.T(in) |
O.D(mm) |
W.T(mm) |
1/4 |
0.035 |
6.35 |
0.89 |
0.049 |
1.24 |
||
3/8 |
0.035 |
9.53 |
0.89 |
0.049 |
1.24 |
||
1/2 |
0.035 |
12.7 |
0.89 |
0.049 |
1.24 |
||
3/4 |
0.049 |
19.05 |
1.24 |
0.065 |
1.65 |
||
1 |
0.049 |
25.4 |
1.24 |
0.065 |
1.65 |
||
0.083 |
2.11 |
工程案例
PRJECT CASE